等离子清洗机通常使用氧气（O2）或者氮气（N2）作为工作气体。 这些气体被注入到清洗室内形成等离子体，并通过高能电子与气体分子的碰撞来产生化学反应，实现清洗的目的。 氧气作为工作气体可以用于清除有机污染物，同时也可以氧化金属表面，使其更容易被清洗。 而氮气则适用于处理敏感材料或避免氧化的工艺。 选择使用哪种气体主要取决于清洗的对象以及需要达到的清洁效果。