溅射靶材是什么东西？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
PVD技术是通过将固态材料加热至一个较高的温度，使其转变为气态，再在目标材料表面凝聚成薄膜的一种工艺。
溅射靶材通常由金属、合金或化合物制成，根据需要的薄膜成分来选择不同的材料。
在PVD过程中，将溅射靶材置于真空腔室中，加热并加上负电压，通过离子轰击或惰性气体溅射的方式，将靶材表面的原子或分子弹出，并沉积在待涂物体表面，形成薄膜。
溅射靶材在PVD技术中起着至关重要的作用，它直接影响沉积薄膜的结构和性能，因此选择合适的溅射靶材对于薄膜沉积过程非常重要。