氦质谱检漏仪原理是什么？

氦质谱检漏仪原理是利用氦气的良好渗透性和质谱技术的高灵敏度来检测气体泄漏。
  
其工作原理是将含氦气体注入被检测系统，然后利用泄漏点处的压力差驱使氦气从泄漏点渗透到周围环境中。
  
检漏仪通过引导氦气进入质谱仪，利用质谱技术检测氦气的质量光谱，进而确定泄漏点的位置和泄漏率。
  
具体来说，质谱仪会将氦气分子电离并转化为离子，然后根据质荷比关系将氦气分子鉴别出来，计算泄漏量。
  
这种原理可实现高精度、高灵敏度的泄漏检测，并广泛应用于工业领域中需要迅速发现和修补泄漏的场合。