光栅传感器是根据什么原理制成的一种计量光栅？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
光栅原理是基于光的干涉与衍射效应，通过将光栅结构嵌入到传感器器件中，可以实现非接触式的测量和检测。
光栅传感器主要由光源、光栅和光电探测器组成。
光源发射出的光经过光栅的衍射作用后，会在被测量目标表面产生干涉图样。
光电探测器通过感知干涉图样的变化来测量被测目标的位移、形状和表面质量等参数。
光栅传感器具有高精度、高灵敏度、快速响应等优点，广泛应用于测量、自动控制、机器人、航空航天等领域。