电化学阻抗谱通常使用电化学阻抗谱仪器进行测量。 电化学阻抗谱仪器包括工作电极、参比电极、频率扫描源和测量电路等部分。 工作电极是用来与被测物接触的电极，参比电极用来提供参考电位，频率扫描源用来提供一系列频率信号，测量电路用来测量工作电极和参比电极之间的电压和电流。 通过改变扫描频率和测量电流、电势的变化，可以得到被测物的电化学阻抗谱。