光刻步骤中影响质量最大的是什么？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
光刻胶是光刻工艺中的关键材料，其质量的优劣直接决定了图形的清晰度和解析度。
光刻胶的质量包括粘度、黏度、溶解性等方面。
如果光刻胶质量较差，可能会出现胶层太薄或者太厚的情况，导致图案失真或者分辨率不高。
此外，光刻胶还需要具备良好的耐化学性能，以承受光刻液等腐蚀性溶液的作用，保证光刻过程的稳定性和重复性。
因此，在光刻步骤中选择高质量的光刻胶，能够有效提高光刻工艺的质量。