光刻机的光源是什么材质？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
激光器是一种产生激光的装置，其内部构造主要由激光介质、泵浦源和谐振腔等组成。
激光介质一般选用具有激光放大作用的物质，如气体（如氦氖激光器）、半导体（如半导体激光器）或固体（如Nd:YAG激光器）。
这些物质在受到外部能量供给时，会产生一些原子、分子或离子的聚集和激发，从而形成激光。
激光器的泵浦源一般选用一定波长下的电磁辐射，如光、电流或化学反应等形式，以提供激发能量。
而谐振腔则用于增强特定波长的激光输出。
综上所述，光刻机的光源通常采用激光器，根据需要选择合适的激光介质、泵浦源和谐振腔，以产生所需的激光。