光刻机的光源通常使用荧光灯或激光器作为照明设备。 荧光灯是一种利用电击打荧光粉产生光的光源，适用于一些光刻机的低成本应用。 而激光器则是由激光二极管和透镜组成，通过电激发材料产生高强度、高单色性的光束。 激光光源具有高度聚焦、紧凑和高能效等优势，因此在高端光刻机中被广泛采用。 这些光源能够产生高亮度、可调节的光束，以满足不同光刻工艺的需求。