光刻机的光源是什么光?

编辑:自学文库 时间:2024年03月09日
光刻机的光源通常是紫外线(UV)光。
  光刻机是半导体制造中的关键设备,用于将电路芯片的图案图案转移到硅片上。
  紫外线光源具有短波长和高能量,能够提供足够强度和分辨率来实现微米级别的图案化。
  使用紫外线光源进行光刻过程时,光被光刻胶吸收,然后通过掩膜模具形成所需的图案。
  因此,光刻机的光源是非常重要的,它直接决定了图案的清晰度和生产效率。