光刻机是一种用于微电子制造的设备，它主要用于将电子芯片上的图案投影到光敏材料上，形成精细的图案。 光刻机利用光源和光学系统将光线通过掩膜或掩模生成的模式反射、折射或透射到光敏材料上，进而将图案转移到硅片或其他电子器件的表面。 这个过程是电子芯片制造过程中最关键的一步，决定了芯片的精度和性能。 光刻技术的发展使得芯片上的微小结构得以实现，从而推动了集成电路技术的发展。