光刻机是干什么用的,工作原理是什么?
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它的工作原理是利用光学成像技术，将样品上的图案投射到光敏感材料上，形成微细的图案。
光刻机由光源、掩模、透镜、显微镜、步进电机等部件组成。
首先，通过光源产生并控制特定波长的紫外光，并将紫外光传递给掩模。
然后，透镜将掩模上的图案放大并射到光敏感材料上，曝光出所需的微细图案。
最后，通过步进电机控制掩模和样品的移动，实现多次曝光，从而形成更复杂的图案。
光刻机的高精度和高分辨率使其在半导体制造中起着关键的作用，可以制造出微小且高精度的元件结构，如芯片、平板显示器等。
同时，光刻机也在光学领域中用于制造光波导、光学薄膜等器件。