光刻机是什么用途的？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它用于在半导体材料上制造微电子元件，例如集成电路（IC）。
光刻机的主要用途是将设计好的电路图案转移到硅片上，从而形成微细的电路结构。
光刻机使用光源照射通过光掩膜上的图案，通过投影或步进等方式将图案成像到光敏剂涂层上。
随后，通过一系列的化学和物理过程，将图案转换成真实的电路结构。
光刻机的精度和稳定性对于半导体制造至关重要，因为电路的尺寸通常在纳米级别。