光刻机是一种用于微电子制造的设备，它主要用于制造芯片和集成电路。 在芯片制造过程中，光刻机的作用是通过照射光源产生的光进行图案的投影和传输，然后将这些图案通过光致变化的化学反应方式转移到硅片表面。 通过不断重复这个过程，可以在硅片上形成精确且复杂的微小电子元件。 光刻机的制造过程需要精密的机械装置和光学系统来确保图案的精度和分辨率，以满足现代微电子制造的高要求。