光刻机是什么概念？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它通过将光源产生的光束聚焦在光刻掩膜上，然后将光影投射到硅片上，从而在硅片表面形成微小的图案和结构。
光刻机的关键部件之一是光刻掩膜，它是一块透明的平板，上面有了具有所需图案的光敏物质。
光刻机以其精确的图案复制能力和高分辨率而闻名，被广泛应用于半导体行业和其他领域。
在半导体制造过程中，光刻机的主要作用是形成集成电路的关键结构，如传导层、绝缘层和掺杂层。
通过多次光刻，可以将复杂的图案逐步构建在硅片上，进而实现各种微电子设备的制造。