光刻机是什么板块组成的？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
光学系统由光源、准直系统、照明系统和投影系统组成，通过准直和照明系统，将光源发出的光线转化为均匀的、适合曝光的光束。
投影系统通过投影镜头将掩模上的图形投影到硅片上。
机械系统包括运动平台、曝光装置、对位装置等部件，用于控制硅片的运动和对位，确保图片的准确位置和形状。
控制系统通过伺服控制系统和图像处理系统实现对光刻机运行的精确控制，同时也负责整个工艺的参数调整和监控。
气体供应系统用于提供各种光刻过程中所需的气体，如纯化气体、氮气等。
这些部分协同工作，使得光刻机能够实现高精度、高速度的图案转移。