光刻机是什么光线?

编辑:自学文库 时间:2024年03月09日
光刻机使用的光线通常是紫外光或深紫外光。
  这是因为紫外光具有较短的波长,可以提供更高的分辨率。
  光刻机将紫外光通过透镜聚焦到光刻胶上,通过光刻胶的曝光和显影过程,将芯片上的图形模式转移到硅片。
  选择紫外光的原因是紫外光波长短,能够实现更高的分辨率和更细小的图案。
  通过使用适当的波长,光刻机可以实现高度精确的图案转移,确保芯片的质量和性能。