光刻机是什么光源类型？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
在光刻过程中，紫外光会经过透镜系统进行聚焦，然后通过掩模进行投影到硅片上。
光刻机中的光源需要具备稳定且高功率的输出，以确保刻写的精确性和效率。
因此，紫外光刻机通常会采用氘灯或激光器等光源。
氘灯具有较高的亮度和长寿命，适用于一些低成本的光刻工艺，如迷你LCD面板的制造。
而激光器则具有高辐射功率和卓越的方向性，适用于高精度的光刻工艺，如集成电路和微电子器件的制造。
总的来说，光刻机的光源类型取决于工艺要求和所需的刻写精度。