光刻机是什么光源啊？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
光刻机是一种半导体制造中最重要的设备，主要用于将电路图案转移到芯片表面。
光刻机利用光源产生的紫外线光束照射在覆盖在硅片上的光刻胶上，通过光刻胶的曝光和显影过程，将电路图案转移到硅片表面上。
紫外线光源通常采用激光或者是高压放电灯产生。
激光光源具有高亮度、窄谱宽、方便调节等优点，但成本较高；而高压放电灯光源成本较低，但辐射范围较广。
根据制程的需求，光刻机选择合适的光源，以确保精确的光刻过程，以获得高质量的芯片制作。