光栅位移传感器是一种利用光的干涉原理,测量目标物体位移的传感器。 它由一个光源和一个光栅 组成。 光栅上有一系列等距的透明和不透明条纹,当光从光源射到光栅上时,会发生干涉现象,形成光的亮暗交错的图案。 当目标物体位移改变时,其与光栅之间的距离也会发生变化,从而导致干涉图案的变化。 光栅位移传感器通过检测干涉图案的变化,可以精确地测量目标物体的位移。