电子束蒸发镀膜腔体为什么有氢气？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
因此，在材料蒸发过程中，部分氢元素也会随着蒸发。
其次，电子束蒸发过程中的腔体制造材料可能会有微小的孔隙或缺陷，从而使得外部的氢气能够渗透进入腔体内部。
此外，电子束蒸发镀膜系统通常需要通过真空环境进行操作，而真空环境下的气体主要是由氢气组成的，一些残留氢气也会进入腔体。
因此，以上几方面可能导致电子束蒸发镀膜腔体中存在氢气。