芯片光刻机的价格根据品牌、型号和配置等因素而有所差异。 一台中小型的芯片光刻机价格通常在数百万到数千万人民币之间。 但是，高端的大型芯片光刻机的价格可能超过上亿人民币。 价格的高低取决于其分辨率、光源功率、镜头数量等技术指标的不同。 此外，售后服务和技术支持也会影响价格。 需要根据生产需求和预算来选择合适的芯片光刻机。