等离子体刻蚀机采用什么能量？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
等离子体是一个高度激发的气体，其中原子或分子失去或获得电子形成带正或带负电荷的粒子。
当电极加高频电压时，气体原子中的电子受到电弧电离产生高度激发的等离子体。
这些等离子体产生强烈的化学反应，可用于刻蚀材料表面。
它通过释放大量的能量来除去材料的一部分，并形成所需的形状和图案。
等离子体刻蚀机的能量密度和功率密度是关键参数，对于获得精确和一致的刻蚀效果至关重要。