溅射靶材是什么材料做的？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
最常用的是金属靶材，如铜、银、铝、钛、锡、钨等。
此外，还有氧化物、氮化物、碳化物等化合物靶材。
这些材料经过特殊加工和制备工艺，以保证其高纯度和均匀性。
通过溅射技术，将靶材置于真空腔内，加热并击打，靶材表面的原子会蒸发并沉积在靶材以外的物体上，实现覆盖或镀膜的效果。
溅射靶材的选择需要根据具体的应用需求和材料相容性来确定。