白光干涉仪测量原理是什么？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
其原理基于干涉现象，即当两束光波相遇时，根据波的叠加原理，会产生干涉条纹。
白光干涉仪利用干涉现象来测量目标的形态和厚度。
它的工作原理是： 1. 光源发出的白光通过凸透镜的透镜系统成为平行光束，然后通过一个半玻璃反射镜分成两束光； 2. 一束光射向目标表面，另一束光经过一个调节器调整路径再射向目标表面； 3. 光束在目标表面上发生反射和透射，并依据目标表面的形态和薄膜厚度发生相位差； 4. 反射光和透射光分别回到半玻璃反射镜并再次分离成两束； 5. 分离的光束经过两个凸透镜对焦，再通过一个傅里叶透镜进入一个光学探测器； 6. 光学探测器会将接收到的光信号转化成电信号，并通过电路系统进行处理和分析； 7. 结果会显示在仪器的屏幕上，可由操作人员进行观察和分析。
通过测量干涉条纹的空间分布、密度和颜色，白光干涉仪可以确定目标表面的形态和薄膜厚度，可以应用于材料和化学分析、薄膜制造以及光学元件加工等领域。