蒸镀材料 溅射靶材有哪些？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
蒸镀材料主要用于薄膜沉积技术，常见的有金属材料如铝、铜、银等，还有氧化物如二氧化硅、氧化锌、氧化铝等。
这些材料通常具有良好的导电性、光学性能和化学稳定性。
溅射靶材也是用于薄膜沉积技术，常见的有金属材料如钨、铬、铝等，还有化合物材料如氧化物、氮化物、硫化物等。
溅射靶材要求材料纯度高、致密度好、机械强度高。
这些材料的选择取决于所需薄膜的应用领域和性能要求。