多晶硅生产工艺流程 设备中哪些使用石墨零部件？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
首先，在硅熔炼过程中，需要使用石墨电极来供电和加热炉。
石墨电极由高级石墨材料制成，具有高温耐受性和电导性能。
其次，在硅熔炼炉中，还需要使用石墨坩埚来容纳和保护熔融硅料。
石墨坩埚由石墨材料制成，具有耐高温、耐腐蚀的特性。
此外，在硅晶片的制备过程中，也需要使用石墨零部件。
例如，使用石墨舟来容纳和加热硅溶液，石墨熔体加热器来对硅溶液进行加热。
石墨舟和石墨熔体加热器都需要具备高温稳定性和化学稳定性。
在硅晶片制备的切割阶段，还需要使用石墨切割线来进行切割。
石墨切割线是由石墨材料制成的，具有高硬度和耐磨性，以确保切割线的稳定和精确。
总的来说，多晶硅生产工艺流程中使用石墨零部件的主要部位包括硅熔炼过程的电极和坩埚，以及硅晶片制备过程中的舟、加热器和切割线等。
这些石墨零部件都具有高温稳定性、化学稳定性和耐磨性的特性，可以确保多晶硅生产过程的稳定性和高效性。