多晶硅生产工艺流程 设备有哪些？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
原料处理设备包括原料处置和净化处理设备，用于处理原料中的杂质，提高原料纯度。
冶炼设备主要包括熔炼炉和熔炼反应装置，用于将原料熔化，并进行加热和熔化反应。
精炼设备主要包括气相精炼炉和液相精炼炉，用于进一步去除冶炼过程中产生的杂质，提高多晶硅的纯度。
晶体生长设备主要包括区熔法和气相沉积法等，用于将精炼后的硅熔体重新凝固成多晶硅晶体。
研磨设备包括切割设备和抛光设备等，用于将多晶硅晶体切割成硅片，并进行表面处理。
以上是多晶硅生产工艺流程中常用的设备，每个设备具体包括的型号和功能会根据生产规模和工艺要求而有所不同。