光刻机是什么玩意儿？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它利用光学技术和化学制程，在硅片表面上形成微小而精确的图案，用以制造电子元件。
光刻机通常由光源、掩膜、透镜系统、运动平台等组成。
首先，通过光源将紫外光或激光光束照射到掩膜上，然后透过透镜系统将图案投射到硅片上。
这样，在硅片上形成了与掩膜完全一样的图案，用以定义电路的形状和尺寸。
光刻机的精度和稳定性非常高，常用于微电子工业中的半导体芯片制造过程。