光刻机是什么光?
编辑:自学文库
时间:2024年03月09日
光刻机是一种半导体器件制造中的重要设备,用于制造芯片。
在制造芯片的过程中,光刻机使用紫外光通过光学透镜将芯片设计图案投影到硅片上。
紫外光具有较短的波长和较高的分辨率,可以提供更精细的图案,以实现更高的芯片密度和性能。
在光刻过程中,利用光敏剂对紫外光的响应来形成图案,并利用化学处理对图案进行加工。
因此,光刻机中所使用的是紫外光。