光刻机是什么光源？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
在光刻过程中，光源发出的光经过光学系统聚焦后，照射在光刻胶上，形成所需的图案。
激光光源具有高亮度、高单色性和高方向性等优点，能够提供高分辨率和精确的图案，是现代光刻技术中常用的光源之一。
汞灯光源具有广谱束发射的特点，适用于一些需要宽谱光照射的光刻工艺。
卤素灯光源则具有较高的亮度和稳定性，广泛应用于一些中低端的光刻机上。
不同光源的选择取决于光刻机所需的光谱特性、照射功率和稳定性等方面的考虑。