光栅位移传感器由哪几部分组成?
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
光源产生光线，经过光栅后形成干涉图样，光电二极管接收干涉图样的光信号，并将其转换为电信号，再经过信号处理电路进行放大、滤波、放大等处理，最后通过输出接口将结果输出。
光栅位移传感器的工作原理是利用光栅上的透明与不透明区域间的干涉，通过测量干涉图案的变化来获得目标物体的位移信息。
这种传感器具有高分辨率、高精度、无接触、无磨损等优点，在工业自动化、光学仪器和精密测量等领域有着广泛的应用。