电子束蒸发能镀哪些材料？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它能够用于镀覆许多材料，如金属、氧化物、半导体、聚合物等。
对于金属材料，电子束蒸发通常被广泛应用于镀铝、镀铜、镀银等工艺。
对于氧化物材料，电子束蒸发能够制备氧化铝、二氧化硅等薄膜。
此外，电子束蒸发也被用于制备半导体材料，如氮化硅、氮化铝薄膜。
对于聚合物材料，由于电子束蒸发过程中温度较高，可能导致聚合物的热降解，因此通常需要采用较低的蒸发温度或者采用保护层的方式来蒸发聚合物材料。
总而言之，电子束蒸发可以应用于各种材料的镀膜制备，具有非常广泛的适用性。