电子束蒸发设备 怎么测速率？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
首先，可以通过调节电子束设备的功率和电子束的聚焦来控制速率。
功率的增加将导致更多的材料蒸发，从而提高速率。
同时，聚焦的调节可以控制电子束的直径和密度，进一步调节速率。
其次，可以通过监测蒸发材料的质量变化来测量速率。
通过称量蒸发前后材料的重量变化，可以确定单位时间内蒸发的质量，从而得到速率。
此外，还可以使用光学显微镜等工具观察蒸发过程中材料的形态变化，并结合时间测量速率。
总之，测量和调节电子束蒸发设备的速率需要综合考虑功率调节、聚焦控制、质量变化测量和形态观察等多个因素。