溅射靶材是什么？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它通常由高纯度的金属或化合物制成，用于产生高质量的薄膜涂层。
在蒸镀或溅射过程中，原子或分子从靶材表面蒸发或喷射出来，然后沉积在待涂物表面，形成均匀且致密的涂层。
溅射靶材的选择对于涂层的性能至关重要，因为不同的材料可以提供不同的物理、化学和光学性质。
常见的溅射靶材包括金、银、铜、铝、钛、锌、铁、镍等金属，以及氧化物、氮化物、碳化物等陶瓷和化合物。
通过合理选择溅射靶材，可以制备出用于光学、电子、太阳能电池、涂料、传感器等领域的多种功能性涂层。