光栅位移传感器是如何测量位移的原理？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它包含一个光源、一个光栅和一个探测器。
光栅是一个细小的透明或不透明的条纹图案，由多个等距的透明和不透明线条组成。
当光束射向光栅时，透过光栅产生的射线会发生干涉，形成亮暗交替的条纹。
探测器用来检测这些干涉条纹的强度变化，并将其转换成电信号。
当目标物体发生位移时，之前干涉条纹中不同位置的亮暗交替将会移动。
探测器会感知到这种变化，并将其转换成电信号。
通过测量电信号的变化，就可以得知位移的大小。
光栅位移传感器的测量精度可以达到亚微米级别，具有高灵敏度和高分辨率的特点。
因此，它广泛应用于精密测量领域，如机械加工、自动化、航空航天等。