光刻机是什么样子的？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
外观上，光刻机通常由主机、控制系统、曝光光源、准直光学系统、接触或非接触式曝光台、对准系统以及供液系统等部分组成。
光刻机的主机通常比较庞大，具有良好的隔音与防尘功能。
曝光光源是光刻机中最核心的组件，负责发射高能光束。
准直光学系统则负责对光束进行加工，使其达到所需的均匀性和准直性。
曝光台上安装着待加工的半导体衬底，根据不同的工艺要求，光刻机可采用接触或非接触方式进行曝光。
对准系统则负责将光刻机的光束与衬底进行精准对准。
供液系统则保证了光刻过程中所需的化学溶液或剂液的供给。
总体而言，光刻机旨在通过上述各个组件的协同工作，实现精细的半导体器件制造过程。