光刻机的光源是什么东西？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
光刻机中常用的光源是激光器或者是放电灯。
激光器产生的光束具有高度的单色性和方向性，能够提供稳定且高强度的光源，适用于高精度的光刻工艺。
激光器光源在光刻机中通常被用于较小尺寸的芯片制造。
而放电灯光源则适用于大尺寸的芯片制造。
放电灯产生的光谱较宽，但是可以通过滤波器进行调整。
无论是激光器还是放电灯光源，它们都能够提供足够的光强度来完成光刻过程中的曝光工作。