光刻机是什么东西？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它通过使用光刻技术，在硅基碟片上转移设计图案，以形成复杂的电子元件和结构。
光刻机利用光源产生的紫外线（DUV）或可见光束，通过光刻胶（photoresist）进行曝光和显影的过程来实现。
在曝光过程中，光刻胶会形成图案，之后在刻蚀过程中，根据光刻胶图案来刻蚀硅基片上的材料。
光刻机的精度高，可以实现非常小的特征尺寸和复杂的结构，如微处理器和存储器等。
它在半导体制造、集成电路设计和制造以及其他微纳制造领域有着广泛的应用。