光刻机是什么东西啊？
编辑：自学文库
时间：2024年03月09日
它通过使用光学投影技术将图案投射到硅晶片上，从而形成微电子元件的结构。
光刻机的主要工作原理包括：首先，光刻机利用先进的透镜系统将光源发出的紫外线光通过掩膜形成预定的图案；其次，通过连续的步进运动将光源下的图案投射到硅晶片上，并使用化学反应将光刻胶在硅晶片上显影出来；最后，通过各种工艺处理步骤，包括蚀刻、沉积、离子注入等，形成微型电路元件。
光刻机的高精度投射技术是现代集成电路制造中不可或缺的关键步骤，能够实现微米级别的精度和高效率的大规模生产。